TCAD端

TCAD端结构

FDTD每一结构与TCAD结构只要x_span、y_span、z_span相同即可(安放电极部分或可延申?),FDTD给出了G(x,y,z,G_export),后面MATLAB把G(x,y,z,G_export)里面G_export(一维数据),根据x,y转换成X行Y列的矩阵,并转置,倒放。 (2D结构:厚度z在TCAD设置两个相邻极薄的)

x轴(横向):

y轴(纵向,从上往下):

TCAD层名称 材料 掺杂类型 掺杂浓度 (cm⁻³) y 范围 (µm) 厚度 (µm)
Vacuum -0.05
Window GaSb n型 1×10¹⁹ -0.05 → 0 0.05
Emitter GaInAsSb n型 1×10¹⁷ 0 → 0.1 0.1
Base GaInAsSb p型 1×10¹⁷ 0.1 → 2.0 1.9
BSF GaSb p型 2×10¹⁸ 2.0 → 2.05 0.05

FDTD区域名称 区间范围
windowlay 0.85 → 0.9
GaInAsSb -1.15 → 0.85
AlGaAsSb -1.2 → -1.15
metalBSR -1.41 → -1.2
SiO₂ -10 → -1.41

1、提出问题:
2、猜想假设:
3、设计实验:
fdg \t fdg
4、进行试验:
5、数据处理:
6、得出结论: